韩国本土开发首款EUV光刻胶通过三星可靠性测试

2021-12-21 65

12月21日消息，韩国光刻胶供应商东进世美肯(Dongjin Semichem)表示，近日通过了三星电子的EUV光刻胶可靠性测试（合格）。这款光刻胶为双方合作研发，打破韩国EUV光刻胶完全依赖海外供应商的局面，最快有望明年上半年向产线批量供应。

据ETNews报道，业内人士表示，“东进世美肯在其位于京畿道的华城工厂开发了EUV光刻胶，并在三星电子的华城EUV生产线进行了测试，最终获得了资格。”并补充道：“两家公司的合作，使得EUV光刻胶能够以高技术水平快速开发。”

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