俄乌危机片关键原料可能断供？台湾联电回应了
2022-02-25 56
对于俄乌战争可能影响半导体制程中使用的原料气体氖气断供，台湾联电发言人刘启东表示，联电虽然有使用来自乌克兰方面的氖气，但是联电始终保持多重来源的供货商，不是只有单一货源，就算乌克兰发生断货情形，联电也能在台湾找到替代货源。
根据研究单位TrendForce报告，惰性气体主要应用于半导体微影制程，该制程线宽需进一步微缩至220纳米以下时，即开始进入DUV（深紫外光）光源准分子雷射世代，以惰性混合气体与卤素分子混合，藉由电子束能量激发产生深紫外光的波长。DUV准分子雷射当中所需要的惰性混合气体就包含氖气，且氖气为混合气体当中的必要气体，难以取代。
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