深圳电子展： 中国euv光刻机三大突破 光刻机的三个系统
2022-07-07 74
如今世界最先进的EUV光刻机，只有asml一家公司可以制造出来。
光刻机总共有三个核心部件，一是双工件台，二是EUV光源，三是EUV光学镜头，顾名思义，高能同步光源设备，是应用于EUV光源的设备。
据最新消息了解，清华大学已经和北京华卓精科合作，并且实现了65nm工艺光刻机需求的双工件台系统。
据央视报道，中科院高能物理研究院，创造出了中国首台高能同步辐射光源设备，此外，为这台光源设备提供技术支持的测试平台，也已经开始试运行。
光刻机主要包括：光源、投影物镜和工件台三个子系统及其他部件。其中，光源系统主要用来发射激光，投影物镜系统主要用来对光线进行精准聚焦，工件台主要用来承载硅片并根据光刻需求进行精密运动，其决定了光刻机的分辨率和生产效率。
深圳电子元器件及物料采购展览会是深圳电子展中专注于全面展示电子产品设计生产所需的各类电子元器件及物料产品的商业展览，是为来自各类电子产品生产加工企业的专业采购人员所打造的元器件及物料采购平台的深圳电子展。这次展览会五展合一，共享多方资源： 共享更多高质量工业、汽车、自动化、显示领域专业观众！
深圳电子元器件及物料采购展览会是电子展中立足硬件之都、创业之都： 5G/6G、无人机、机器人、智能穿戴、 智能硬件……；全面覆盖华南优势产业应用：物联网、AI、工业、新能源、消费电子、家电、手机、通信、照明、安防等；全面展示从电子到制造，行业应用解决方案的深圳电子展展览会。
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深圳电子元器件及物料采购展览会展会聚焦关注市场技术创新与产业升级：小型化、低功耗、高算力、智能化转型趋势；智能汽车、新能源、工控与自动化、安防、手机、家电、消费电子、IT、网通、照明、电力能源、医疗电子等；国产化方案迫在眉睫等方向的深圳电子展。
深圳电子元器件及物料采购展览会将于2022年10月12-14日在深圳国际会展中心（宝安新馆）隆重开幕，期待您的参与。
如有侵权，请联系删除。
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文章综合丰牛财经、小夏分享快乐I、操盘必读