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集成电路展:践行节水环保理念 集成电路清洗废水回用系统“C位”出道

  2022-08-03   78  

集成电路是集成电路产品的关键部件,其产品质量的优劣可以直接影响到集成电路整机产品的使用性能和系统可靠性。在集成电路的制备活动中,表面层附着的颗粒、有机物、金属等污染物很大程度影响元器件的使用性能。伴随着集成电路板中单元图案的日渐小型化和集成度的提升,对元器件使用性能、系统可靠性、产能和使用寿命的要求也越来越高。因而,在集成电路制造活动中的许许多多工艺技术,如硅氧化、光刻、外延、扩散和铅蒸发等之前,为了能得到符合标准清洁度规定的硅片,需用物理或化学方法除去硅片表面层的污染物以及自身的氧化物,但也产生了大批量的废水。
 
集成电路板清洗活动中排出来的废水带有纤维物质、铬、镍、锌、酸碱等污染成份,如果没有做好合理有效处置或处理方式不正确,将对自然环境导致重度污染。天然水体受酸、碱、重金属污染后,水体的缓冲作用被破坏,使水的质量恶化,抑制或阻止微生物活动,降低水的自净能力,还可能会对农作物造成不良影响,重金属离子对健康有特别大的危害。并且水中的重金属离子不会被微生物降解,它们可以在生物体内吸附、积累和富集,对人类、鱼类、浮游生物都是有特别大的危害,情况严重时可导致作物减产或牲畜死亡。

 
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伴随着国内“节能降耗”政策的执行,在集成电路行业用水大户的环评批复中明确指出,除规定废水达标排放外,还明确规定废水必须完成一定的回用率,完成循环经济。在现有技术中,生产厂家主要是将上述工艺技术混合在同一个集成电路清洗废水回用设备中做好处置,集成电路清洗废水的成份繁杂,目前设备对这类废水的处置必须应用较多的药物制剂进行反应,浪费了较多的药物制剂,与此同时这类废水设备的结构复杂,不利操作人员做好维护。

莱特莱德的集成电路清洗废水回用系统工艺技术合理,运转持久稳定,经济效益明显,环境风险使用性能可控,总体布局高度集成,美观大方。该系统采用Neterfo极限分离和MVR蒸发的组合,加之高效的软化和脱硬系统,降低了膜系统结垢和污染的风险,确保了系统的稳定运转。Neterfo极限分离系统简单的模块化设计使其运转更加灵活,可以完成集成电路废水的回用和近零排放处置。集成电路清洗废水回用系统的不断改进使国内对集成电路的需求不断增加,集成电路废水的合理有效回用符合标准我国目前的节水环保理念。
 
集成电路行业是一个重度污染的行业,有很多设计生产环节,各生产环节造成的废水类型差异比较大,必须做好废水分流和单独处置。针对某些污染较轻的废水,可以做好综合性处置。集成电路工业和其他行业造成的带有重金属离子的废水量越来越大,成份也变得越来越繁杂。在挑选其处置方法时,应考虑水质、水量、处理效果和经济投入等因素,综合运用各种组合工艺和新技术,扬长避短,其中,集成电路清洗废水回用系统“C位”出道。

 
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